碳酰氟(CF2O)
产品说明
碳酰氟，又名氟光气，是一种含氟、非易燃、有毒气体，化学式为CF2O，主要用作半导体制造装置的清洗气和刻蚀气，也可用作有机合成的中间体、氟化剂。
技术指标
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组成 |
单位 |
指标 |
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碳酰氟(CF2O) |
wt% |
≥99.0 |
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三氟乙酰氟 |
wt% |
≤0.5 |
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其他 |
wt% |
≤0.5 |
理化指标
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检测项目 |
单位 |
指标 |
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化学名称 |
/ |
三氟乙酰氟 |
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CAS |
/ |
353-50-4 |
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分子式 |
/ |
CF2O |
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结构式 |
/ |
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分子量 |
g/mol |
66.01 |
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沸点(1atm) |
℃ |
-84 |
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临界温度 |
℃ |
22.8 |
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液体密度 |
g/ml |
1.14 |
包装方式
本产品充装在钢瓶或运输槽罐中，钢瓶包装规格1000 kg/1000 L，钢瓶充装系数0.5 kg/L；钢瓶或运输槽罐外附有标签、合格证，注明牌号、商标、批号。
注意事项
1.产品储存时要远离火源、热源，防止超压；储存场所必须有良好的通风装置。
2.高温天气，要对露天存放的钢瓶进行防晒降温措施，防止超压。
3.本品按危险品运输，运输过程中应避免受热或剧烈震动。